FMC-C 质量流量控制器

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技术参数

产品名称
FMC-C 气体层流流量控制器
满量程流量
20sccm-20slm
相应时间
≤1.0sec
流量精度
±1.0%S.P.(>20%F.S.)、±0.2%S.P.(≤20%F.S.)
直 线 性
±0.5%F.S.
重 复 性
±0.2%F.S.
工作压差
≤300kPa(D)
最大工作压力
450kPa(G)
耐      压
1MPa(G)
数字接口
RS485
驱动电源
24VDC±4V
消耗功率
4.5V
接触气体材料
M:SUS316L、PTFE、磁性不锈钢  R:SUS316L、PTFE、铜、氟橡胶