技术突破、工艺优化与应用创新，是2026 MM AWARD真空半导体行业方案创新奖关注的重点。飞卓科技（上海）股份有限公司凭借研发团队的“全量程金属薄膜真空计国产化产业化方案”，荣获该奖项。

飞卓研发团队围绕膜片结构、制备工艺与数据处理持续开展技术攻关：通过应力释放设计，改善膜片残余应力与受力分布；结合真空感应熔炼与双级热处理，改善膜片稳定性与抗疲劳性能；运用神经网络算法，改善温漂与非线性误差，为真空计的稳定测量与产业化应用建立技术基础。

2026年6月，该项目通过上海市真空学会组织的技术成果鉴定，专家组认为其整体技术达到“国内领先、国际先进水平”。

2026 MM AWARD真空半导体行业创新方案发布颁奖现场。

全量程覆盖，支持设备批量配套

飞卓真空计实现0.1—1000 Torr量程覆盖，为不同压力工况提供相应的产品选择。目前，全量程真空计均可实现量产交付，可承接设备制造商的批量采购与配套需求。

从产品选型到批量配套，这项成果为半导体设备关键测量部件的国产化提供了可交付的产品基础，让客户能够根据实际工艺需求，将国产真空计纳入设备配套计划。

100℃温控，支持长期稳定测量

在半导体工艺中，传感器表面的冷凝与沉积可能引起测量漂移，并增加工艺污染风险，影响对压力状态的准确判断。

飞卓真空计已突破100℃温控设计验证，面向使用硅烷、氨气等工艺气体的相关应用，降低可凝结组分及工艺附产物在传感器表面的冷凝、沉积风险，减少由此带来的测量漂移与工艺污染，为长期稳定测量提供支持。

提升制造一致性，完善维修支持

稳定测量与批量交付，需要具体的技术与工艺支撑。飞卓通过规杯应力槽释放设计，改善焊接残余应力释放；确保焊接不引入膜片产生0点漂移，间隙通过高精密垫片与规杯高度匹配设定，在参考真空环境中通过电容测量验证。

在制造环节，飞卓将排气管封口由手工操作升级为全自动封口，把依赖操作经验的工序转化为可重复执行的设备动作，减少人工操作差异，为批量制造的一致性提供支撑。

飞卓同时可承接进口品牌真空计维修。对于已配套进口仪表的设备，客户可根据仪表品牌、型号与故障情况对接维修需求，为在用真空计的维护增加服务选择。产品与服务由此覆盖新设备的批量配套，以及现有设备的仪表维护需求。

2026 MM AWARD真空半导体行业创新方案发布现场合影。

2026 MM AWARD真空半导体行业方案创新奖由机工弗戈、上海市真空学会共同组织评选。2026年10月15日，奖项在上海举行的真空半导体设备零部件制造技术与工艺研讨会暨MM AWARD真空半导体行业创新方案发布活动上颁发。